(赛迪网 SEMI 2002年06月14日 10:27)
【赛迪网讯】6月12日,我国台湾半导体业龙头——台积电宣布,它成功使用现有生产设备,开发出了鳍式场效晶体管(Fin Field-effect transistor:FinFET)原型产品,这种新型CMOS晶体管闸长可小于25纳米,未来可进一步缩至9纳米,这一产品的研发成功有望使CMOS制造工艺寿命再延长20年以上。
台积电CTO胡正明在夏威夷举办的“VLSI技术研讨会”上称,半导体产业界不断尝试解决当前半导体制造主流技术CMOS未来在物理学上面临的障碍与瓶颈,尽管有许多不同于CMOS的工艺技术被开发出来,试图解决这一问题,但它们与CMOS技术相比,都需花费更多成本、而且尚不适于大规模量产。
胡正明说,台积电成功使用现有生产设备做出的FinFET,证明常规电晶体在CMOS制程微缩化过程中遭遇的漏电流或过热等问题所造成瓶颈,可望得到解决,预计可使CMOS制程生产技术再延伸约20年以上,也将为半导体产业带来新的前景。
FinFET的技术源于目前通用的标准晶体管。在标准晶体管结构中,控制电流通过的闸门,只能在闸门的一侧控制电路的接通与断开,而FinFET架构的创新之处就在于,其闸门类似鱼鳍的叉状,可于电路的两侧控制电路的接通与断开,从而改善电路的可控性,并减少其漏电流,大幅缩短晶体管闸长,缩小晶体管的体积。
业内人士称,台积电这种新型晶体管是半导体技术发展上的一大突破,借助于这种晶体管构造,未来的芯片设计师开发的超级电脑尺寸将只有指甲般大小。